粉末冶金法:通过将铟粉末在高温下压制和烧结成型,可有效控制杂质含量,能制造出形状复杂的靶材,制得的靶材具有较高的致密度和均匀性。
熔炼法:将铟材料加热至熔点以上,使其成为液态,然后通过铸模或其他成型工艺制造靶材,该方法简单快捷,但控制纯度和均匀性相对较难。
光伏领域:在薄膜太阳能电池中,铟靶材可作为光吸收层形成用的溅射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太阳能电池,有助于提高太阳能电池的转换效率。
化合物半导体器件
场景:用于制造铟镓砷(InGaAs)、铟磷(InP)等化合物半导体芯片,广泛应用于 5G 通信基站、雷达、光纤通信等高频电子设备。
作用:提升器件的高频性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
靶材回收与再利用
回收价值:报废铟靶(含溅射过程中产生的碎屑、废膜)可通过化学溶解(如盐酸溶解)、电解精炼等工艺回收铟金属(回收率可达 95% 以上),降低生产成本。
环保要求:回收过程中产生的废水需处理至重金属排放标准(如铟离子浓度≤0.1 mg/L),避免环境污染。