精密制造与特殊材料领域

1. 高端轴承与涂层

用途：在航空发动机、精密机床的轴承表面溅射铟涂层，降低摩擦系数，提高润滑性能和抗磨损能力。

场景：飞机涡轮轴承、光刻机精密运动部件等。

2. 低熔点合金与焊料

成分：铟与锡、铅、镓等金属组成的共晶合金（如 In-Sn 合金，熔点约 118℃）。

应用：用于电子元件的低温焊接、热敏感器件的封装，以及核工业中的熔断保护装置。

存储环境控制

温湿度：存储于干燥、恒温环境（温度 15~25℃，湿度≤40% RH），避免铟靶吸潮氧化（铟在潮湿空气中易生成 In₂O₃薄膜，影响溅射效率）。

防尘防潮：用铝箔或真空袋密封包装，存放于洁净柜中，防止灰尘附着或与其他化学物质接触。

安装前预处理

表面清洁：

用无水乙醇或丙酮擦拭靶材表面，去除油污、指纹及氧化层（可用无尘布蘸取溶剂沿同一方向擦拭，避免来回摩擦）。

若靶材表面有轻微氧化，可用细砂纸（800~1200 目）轻轻打磨，再用去离子水冲洗并干燥。

靶材检查：

确认靶材无裂纹、孔洞或脱落（铟质地软，运输或安装时易磕碰损伤）。

检查靶材与靶架的适配性（如尺寸公差、导电性接触点），确保安装牢固。

靶材回收与再利用

回收价值：报废铟靶（含溅射过程中产生的碎屑、废膜）可通过化学溶解（如盐酸溶解）、电解精炼等工艺回收铟金属（回收率可达 95% 以上），降低生产成本。

环保要求：回收过程中产生的废水需处理至重金属排放标准（如铟离子浓度≤0.1 mg/L），避免环境污染。