. 光通信器件
应用:在光纤连接器、光调制器中作为镀膜材料,提升光学元件的信号传输效率和稳定性。
场景:数据中心高速光模块、5G 前传网络的光器件制造。
固态电池与储能技术
前沿应用:铟作为固态电解质的界面改性材料,改善电极与电解质的接触阻抗,提升固态电池的循环寿命和性。
真空系统维护
腔体清洁:每次溅射后及时清理腔体内壁及基片台的铟沉积层(铟延展性强,易粘附在腔体表面,长期积累可能导致短路或影响真空度)。
可用棉签蘸取乙醇擦拭,或用软质刮刀轻轻刮除(避免损伤腔体涂层)。
真空泵保养:定期更换真空泵油(因铟蒸气可能污染泵油,建议每 200 小时检查一次),防止油液粘度升高影响抽气效率。
靶材回收与再利用
回收价值:报废铟靶(含溅射过程中产生的碎屑、废膜)可通过化学溶解(如盐酸溶解)、电解精炼等工艺回收铟金属(回收率可达 95% 以上),降低生产成本。
环保要求:回收过程中产生的废水需处理至重金属排放标准(如铟离子浓度≤0.1 mg/L),避免环境污染。