集成电路(IC)制造
用途:作为金属互连层或接触电极材料,用于芯片内部的导电线路、晶体管电极等关键部位。
优势:铟的低熔点和高延展性使其易于加工成极薄的薄膜,满足纳米级制程对材料精度的要求。
精密制造与特殊材料领域
1. 高端轴承与涂层
用途:在航空发动机、精密机床的轴承表面溅射铟涂层,降低摩擦系数,提高润滑性能和抗磨损能力。
场景:飞机涡轮轴承、光刻机精密运动部件等。
2. 低熔点合金与焊料
成分:铟与锡、铅、镓等金属组成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔点约 118℃)。
应用:用于电子元件的低温焊接、热敏感器件的封装,以及核工业中的熔断保护装置。
防护措施
个人防护:操作时佩戴防静电手套、护目镜,避免直接接触铟靶(铟金属,但粉尘吸入可能刺激呼吸道,需在通风良好环境下操作)。
防火防爆:铟粉或碎屑属于可燃固体(引燃温度约 200℃),需远离明火,废弃靶材及碎屑应收集于专用容器中,按危险废弃物处理。
电磁屏蔽:射频溅射时需确保设备接地良好,防止电磁辐射对操作人员或周边仪器的干扰。
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